<制氧机对粮食等食品进行蕴藏早是在日本、澳大利亚与法国利用的。当初，美国仅批准臭氧利用于食品加工，瓶装水及其生产线消毒。美国食品科学院收集并评估臭氧利用于食品蕴藏坚固性，现状与前景。
利用于食品加产业的研究
1909年在德国臭氧首先用于肉类冷藏，这是臭氧作为食品保鲜利用的早实例。 1924年臭氧开端用于食品加产业。 “ 臭氧在冷藏时，可能胜利灭杀细菌”，“在湿度 88% ～ 90% 时贮存鸡蛋，臭氧可能杀灭霉菌”。
研究还发明，将成熟的香蕉置放于 1.5ppm 跟 7ppm 臭氧中，可能有效减缓香蕉成熟速度。 1936 年 ，研究发明将肉类置于 10mg/m3 臭氧中三小时，（ 3 ℃ ， 90% 湿度 =RH ）有效延滞了细菌成长。 1936年发明，臭氧能杀灭导致桔类生果糜烂的细菌。同年发明，将新鲜的鱼类置于臭氧处理的冰中，其蕴藏时光多少乎能延长两倍。
1939 年科学家研究了臭氧空气中的鸡蛋类冷藏。 0 ℃ 80% ～ 90%RH ，将蛋类连续置于 2.5mg/m3 臭氧 6 个月以上，不会产生细菌或霉菌。
1950 年科学家总结臭氧在食品加工蕴藏也中的利用，“臭氧重要的用处是在养鸡场中”，臭氧减少因蕴藏冷气而产生的萎缩跟沾染。“臭氧在乳酪成熟时在克制霉菌成长方面无可比较”，“臭氧，在第二次世界大战前，在欧洲的储肉间里得到十分普遍的利用”。
1951 年，“臭氧技巧得以更普遍的利用，如空气的清洁跟消毒，包含剧院、学校、医院、冷库、肉类包装厂跟酿酒房等地点”。 这些都说明臭氧的有利用处，如蕴藏生果、花椰菜、土豆（臭氧完全杀灭了疫霉属沾染原成长）跟肉类， ' 假如贮存在 10 ～ 20mg(O3)/m3 臭氧气中，牛肉保存期能延长 30% ～ 40% 。
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