医用氧
1985年，美国公司研制的一台小型PSA制氧机，标志着PSA技术开始小型化，也就是在这个时候，行业的先驱们发现了这种设备。估计当时发现这个小型PSA制氧机的小伙伴们发现宝藏时的心情可以用欣喜若狂来形容，因为以前氧气只能通过低温蒸馏来操作，费时费力，设备也相当庞大，而且由于纯度限制，价格也很高。20世纪90年代初，小型PSA制氧机产品开始出现。美国材料实验研究所于1993年发布了小型PSA制氧机的标准规范，组织于1996年发布了小型PSA制氧机的安全标准。PSA制氧机具有在压力下增加氮的吸附量，在减压下降低吸附量的特点，因此沸石分子筛是常用的方法，它在压力下吸附氮，在减压下从分子筛中解吸氮，通过变压吸附实现制氧。
医用氧
工业制氧机工作流程：工业制氧机根据变压吸附原理使用沸石分子筛作为吸附剂，由于沸石分子筛的选择性吸附特性，氮多吸附在沸石分子筛上，氧气在气相中浓缩，在变压吸附的作用下实现氮氧分离。通过两个吸附塔工艺、一塔吸附氧气、一塔解吸再生、PLC智能程序控制气动角阀的开闭，使两塔交替连续生产高质量氧气。工业制氧机操作简便，运行稳定，自动化程度高；其具有自动联锁氧气排空装置，能保证氧气产品的质量。
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